高溫動態(tài)反偏老化測試系統(tǒng)(DHTRB2000)

試驗溫度

室溫~200°C(熱板形式加熱)

老化試驗區(qū)

8區(qū)(可擴容)

單區(qū)工位

12 (典型)

試驗方法

主動式:
VGS, off= VGS, min recom and VGS, on = VGS, max
被動式:
VGS = VGS, min recom

試驗電壓

50V-1200V

電壓精度

檢測誤差: ±(2%+1V)

脈沖控制

1.脈沖頻率(方波): 0kHz~100kHz; 精度:2%+2LSB(最大頻率取決于電壓，DUT電容)
2.方波占空比20%~80%; 精度: ±2%
3.電壓上升率 (dv/dt)≥50V/ns (Coss<300pF)
4.電壓過沖<15% (Vpp>960V)

VGS電壓測控范圍

-0.7V~-20V/0V

漏電流檢測

檢測范圍: 0.1uA~20mA
精度:
第一檔0.1uA~0.999uA分辨率為0.01uA 精度: 1%+0.02uA
第二檔1.00uA~99.9uA分辨率為0.1uA 精度: 1%±0.2uA
第三檔100uA~999uA 分辨率為1uA 精度: 1%±2uA
第四檔1.0mA~20.00mA 分辨率為0.1mA 精度: 1%+0.2mA

整機供電

三相AC380V+38V

整機重量

700Kg(典型)

整機尺寸(典型)

800mm(W)x1400mm(D)x1950mm(H)